에스엔유, 반도체장비 상용화 사업자로 선정
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에스엔유프리시젼은 8일 지식경제부가 주관하는 '반도체장비 상용화 기술개발 사업'으로 선정됐다고 공시했다.
반도체 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 공정작업 후 CD측정을 위한 장비를 개발하는 내용의 과제다. 에스엔유를 비롯해 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파트가 컴소시엄에 참여했다.총 개발기간은 2012년 11월31일까지로 총 36개월간이다. 정부지원금은 연간 8억2500만원이다.
한경닷컴 김하나 기자 hana@hankyung.com
반도체 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 공정작업 후 CD측정을 위한 장비를 개발하는 내용의 과제다. 에스엔유를 비롯해 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파트가 컴소시엄에 참여했다.총 개발기간은 2012년 11월31일까지로 총 36개월간이다. 정부지원금은 연간 8억2500만원이다.
한경닷컴 김하나 기자 hana@hankyung.com