주성엔지, 반도체 장비 관련 특허권 취득
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주성엔지니어링은 29일 원자층 증착장치의 가스밸브 어셈블리를 제공하는 것과 관련된 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "반도체 장비의 경쟁력이 강화될 것으로 기대하고 있다"고 밝혔다.
한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com
회사 측은 "반도체 장비의 경쟁력이 강화될 것으로 기대하고 있다"고 밝혔다.
한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com