주성엔지니어링 "복수 기판 홀더 관련 특허 취득"

주성엔지니어링은 "복수개의 기판을 고정시키기 위한 기판 홀더와 이를 장착한 챔버에 관한 특허를 취득했다"고 9일 공시했다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com