테스, 플라즈마 제어 처리장치 특허권 취득

테스는 4일 표면조도를 이용한 플라즈마 제어가 가능한 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

한경닷컴 이민하 기자 minari@hankyung.com