[공시] 원익아이피에스, 가스 분사장치 관련 특허 취득

원익아이피에스는 가스 분사장치와 이를 구비하는 기판 처리장치 특허권을 취득했다고 3일 공시했습니다. 이 특허는 반도체 제조장치 내 가스 분사장치에서 나오는 공정 가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클(입자) 발생을 억제하기 위한 기술입니다. 신유진기자 egsin@wowtv.co.kr 한국경제TV 핫뉴스 ㆍ왕따 소녀, 미국 10대 미인대회 우승 화제 ㆍ멈춰버린 롤러코스터, 탑승객 구하기 생생영상 ㆍ버스 좌석 뜯어먹는 엽기男 공개수배 ㆍ원자연 의상 모아보니, 눈이 호강 ＂올림픽 여신이네＂ ㆍ모델 장진 `인어공주가 여기있네` ⓒ 한국경제TV, 무단 전재 및 재배포 금지 신유진기자 egsin@wowtv.co.kr