SMEC, 더블암식 3단 카세트 이송로봇 개발 특허 취득

SMEC가 반도체 카세트 이송장비와 관련된 특허를 취득했다고 18일 밝혔다.

더블암식 3단 카세트 이송 로봇은 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, LCD 글라스, 솔라셀 등을 이송하는 장비이다. 지난 해 11월 SMEC가 천장에 부착돼 업무를 수행하는 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발한 바 있으며 이번 특허는 기존 기술을 업그레이드한 것이다.

SMEC에서 지난 해 개발한 더블암식 2단 카세트 이송 로봇은 현장 공간 효율의 극대화를 위해 바닥이 아닌 천장에 부착되는 방식으로 기존 이송장비와 차별성이 있었다. 이번 특허 기술의 가장 큰 변화는 로봇 몸체가 3단으로 접히도록 설계해 로봇의 움직임을 보다 자유롭게 한 것이 특징이다.

회사 관계자는 “클린로봇은 당사가 지속적으로 매출이 일어나는 분야이며 본 발명은 해당 분야의 업그레이된 기술”이라며 “지속적인 보완 및 발전과정을 거침으로써 더 완성도 높은 SMEC만의 기술을 개발할 것"이라고 밝혔다.

한경닷컴 최성남 기자 sulam@hankyung.com