테스, 이송 로봇 티칭 방법 특허 취득

테스는 기판 지지 유닛 및 이를 이용한 이송 로봇 티칭 방법 관련 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

회사 측은 해당 특허에 대해 "로딩위치 조정값에 따라 이송 로봇의 티칭값을 변경, 이송 로봇 티칭과정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다"고 밝혔다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com