[이달의 산업기술상] 유정호 나노세미콘 대표, 반사방지 코팅 공정 반도체 장비

11월 산업기술상 사업화 기술 부문 우수상

유정호 나노세미콘 대표(사진)는 ‘300㎜ 반사 방지 코팅(ARC) 공정용 실리콘옥시나이트라이드(SiON), 실리콘카본나이트라이드(SiCN) 장비 및 공정’을 개발하고 사업화에 성공했다.

나노세미콘은 2005년 설립된 반도체 장비 및 부품 생산업체다. 이번 기술 사업화로 지난해 전년 대비 78.42% 늘어난 127억7000만원의 매출을 올렸다. 중국 시안 삼성전자 공장에 300㎜ 웨이퍼 이송장치(wafer sorter) 16대와 우시 SK하이닉스 공장에 300㎜ 퍼니스 5대를 수출했다. 관련 특허는 12건을 등록했고, 12건을 출원한 상태다.

2010년 19명이던 회사 직원은 지난해 3배가량 늘어난 56명. 회사 관계자는 “국내에서 제품을 공급하면서 유지·보수 비용이 절감돼 가격 경쟁력을 갖게 됐다”고 설명했다.