[이달의 산업기술상] 신웅철 엔씨디 대표, 고효율 태양전지용 생산 장비

10월 산업기술상 신기술 부문 우수상

신웅철 엔씨디 대표(사진)는 ‘고효율 태양전지용 선택적 후면 패시베이션 공정 및 장비’를 개발했다. 세계 최초로 양산성이 우수한 원자층 증착장비(ALD)다. 기존 장비에 비해 셀효율이 0.5～1% 향상됐고, 7% 정도의 비용 절감 효과도 내고 있다.

반도체 공정에 사용되는 ALD 장비의 시간당 생산량이 최대 20장 안팎이다. 태양전지 분야에서는 시간당 생산량이 2400장 이상 돼야 한다. 이런 높은 양산성을 해결하려면 ALD 장비의 구조와 공정기술이 전혀 달라야 한다. 생산성은 물론 셀 효율 향상을 위한 박막의 품질도 우수해야 한다.

낮은 웨이퍼당 생산단가나 장비 도입단가 등 경제성을 고려하면 반도체에 비해 난이도가 매우 높은 기술이다.

엔씨디는 고효율 태양전지용 패시베이션 증착장비를 LG전자 현대중공업 한화케미칼 등 태양전지 제조업체에 공급했다.