탑엔지니어링, 대전방지용 시트 관련 특허 취득

탑엔지니어링은 대전방지용 시트와 대전방지된 작업 스테이지에 관한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

회사 측은 "탄소나노튜브를 포함한 대전 방지 물질을 작업스테이지에 코팅했다"며 "반도체 제조 장비, 디스플레이 장치와 테스트 장치 등 대전방지가 필요한 작업 스테이지에 적용 가능하다"고 말했다.

한경닷컴 김민재 기자 mjk1105@hankyung.com