선문대, 美 실리콘밸리 기업과 비파괴 검사 기술 개발 협약

웨이퍼마스터즈 선문대에 연구소 설치

선문대학교(총장 황선조)는 미국 실리콘밸리 웨이퍼마스터즈(대표 유우식)와 디스플레이용 비파괴 검사 기술 개발에 나선다고 19일 밝혔다.

선문대는 연구 공간과 연구 인력을 제공하고, 웨이퍼마스터즈는 측정 및 검사 장비 3대와 연구비를 지원해 디스플레이용 비파괴 검사 기술을 개발할 예정이다.

웨이퍼마스터즈는 미국 실리콘밸리에서 나노 반도체 공정에 사용되는 열처리 장비와 계측 장비를 생산하는 기업이다.

웨이퍼마스터즈가 지원하는 장비는 300mm 반도체 웨이퍼에 있는 미세패턴의 결함을 검사하는 비파괴 검사 장비다.

일본 구마모토현에 생산 공장과 연구소가 있지만 한국에 연구소를 설립하기 위해 그동안 선문대와 협의해 왔다.

유우식 웨이퍼마스터즈 대표는 "지난 수년간 미국과 일본에서 진행한 산학협력 경험을 바탕으로 선문대와 좋은 결실을 맺을 수 있도록 하겠다"고 말했다.

선문대 차세대반도체기술연구소는 2009년부터 국내 반도체와 디스플레이 분야 대기업, 대학, 연구소와 함께 '나노반도체 및 디스플레이 MI(Metrology and Inspection)기술포럼'을 매년 개최하고 있다.

MI 기술은 반도체 및 디스플레이 공정에서 미세구조를 계측, 검사하는 기술이다. 복잡하고 미세한 회로와 패턴 구조로 인한 반도체 불량을 방지하기 측정·검사비중이 생산 공정의 절반을 차지할 정도로 중요하다.

김호섭 선문대 차세대반도체기술연구소장은 "검사 장비는 반도체 및 디스플레이 분야에서 활용범위가 넓다"며 "첨단 측정 및 검사 기술을 습득할 수 있는 환경은 학생들의 진로와 취업에도 많은 도움이 될 것"이라고 말했다.

아산=강태우 기자 ktw@hakyung.com