반도체 생산라인인 삼성전자 기흥사업장에서 가스 경보가 울려 임직원 250여 명이 대피하는 소동이 빚어졌다.21일 오전 9시 57시께 경기도 용인시 삼성전자 기흥사업장 6-1라인에서 가스냄새가 난다는 신고가 119에 접수됐다.
삼성 측은 신고 접수 13분 전인 오전 9시 44분 설비 내 가스감지기에서 경보가 울리자 임직원 250여 명을 긴급히 대피시키고 소방당국에 신고했다.
인명 및 재산 피해는 없었다.출동한 소방당국은 건물 전체를 통제하고, 화학보호복을 착용한 대원들을 내부로 투입해 가스 누출 여부를 조사했다.
소방당국은 해당 라인 내 가스 저장실에서 퍼플루오로시클로펜텐(C5F8) 등 반도체 제조에 쓰이는 가스 형태의 화학물질이 소량 누출된 것으로 추정하고 있다.
아울러 단순 기계 오작동일 가능성도 열어 놓고 자세한 경위를 조사하고 있다.C5F8는 독성가스로, 누출 당시 가스 저장실과 가스 공급장치 내 경보가 모두 울렸다고 삼성 측은 설명했다.
소방당국과 환경부 등 유관기관에서는 내부 공기 정화 작업 등 안전 조치를 마쳤다.
이어 낮 12시 40분께 최종 가스 측정을 한 결과 유해가스는 검출되지 않았다.건물 외부로의 가스 유출도 없었던 것으로 확인됐다.
삼성 측은 모든 안전점검 절차가 끝나는 대로 임직원들을 현장에 복귀시킬 예정이다.
삼성 관계자는 "삼성전자 반도체 사업장에서는 가스 누출을 감지하는 알람이 가동 중"이라며 "최근 이산화탄소 사고 이후 경미한 알람에도 외부기관에 즉시 신고해 신속하게 대응하고 있다"고 말했다.앞서 지난 9월 반도체 생산라인인 기흥사업장에서는 6-3라인 지하 1층 이산화탄소 집합관실 옆 복도에서 소화용 이산화탄소가 누출돼 2명이 숨지고 1명이 부상한 바 있다.