오래택 수석연구원·김인호 소장 '3월 대한민국 엔지니어賞'
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![오래택 수석연구원](https://img.hankyung.com/photo/201903/AA.19129038.1.jpg)
대기업 부문 수상자인 오 수석연구원은 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 세정장비를 개발했다. 웨이퍼는 반도체 집적회로의 주재료다. 반도체 시장에서 웨이퍼 관리의 중요성은 갈수록 커지고 있다. 반도체 크기가 작아지면서 제거해야 하는 웨이퍼의 불순물 크기도 그만큼 작아지고 있다. 오 수석연구원은 10나노급 반도체 기준 19나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 크기의 불순물까지 제거할 수 있는 세정장비를 개발했다. 이를 통해 기업 경쟁력을 강화하고 국내 반도체 장비산업 발전에 크게 기여했다는 평가를 받았다. 그는 “대한민국 반도체산업의 경쟁력 향상에 기여할 수 있도록 기술 개발에 더욱 매진하겠다”고 말했다.
![김인호 소장](https://img.hankyung.com/photo/201903/AA.19128752.1.jpg)
윤희은 기자 soul@hankyung.com