[포토] 제3회 벤처창업아이템 경진대회… 친환경 반도체 제조장비

Feel Light팀이 '친환경 반도체 미세패턴 노광 및 UV세정 시스템'을 시연하고 있다.
14일 한국폴리텍대학 정수캠퍼스에서 열린 제3회 벤처창업아이템경진대회 본선 심사에서 Feel-Light팀이 '친환경 반도체 UV LED 노광 및 세정 복합 시스템'아이템을 발표하고 있다. 반도체 노광장치들은 얼라이너 노광광원으로 수은 캠프롤 사용하고 있으나, 수은 사용이 금지되는 추세이다. 이를 대체하기 위해 UV LED를 광원으로 사용하는 장비를 제작중이다.

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