일본 정부가 최근 SK하이닉스와 삼성전자가 수입하기로 한 불화수소 수출을 허가한 것으로 확인됐다.유명희 통상교섭본부장은 2일 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 일본의 반도체·디스플레이 소재 3개 품목 대(對)한국 수출허가 승인 건수에 대해 "총 7건"이라고 말했다.
전날 산업부는 기체 불화수소(에칭가스) 1건, 플루오린 폴리이미드 1건, 포토레지스트 3건 등 5건이 수출허가를 받았다고 밝힌 바 있는데, 지난달 30일 수출 승인된 에칭가스 2건이 추가로 확인된 것이다.
이번에 수출 승인된 기체 불화수소 2건은 각각 SK하이닉스, 삼성전자가 수입하는 것으로 확인됐다.SK하이닉스 관계자는 "지난달 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소 수출을 허가했다"며 "아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 밝혔다.
기체 불화수소는 앞서 지난 8월 말 처음 수출 허가가 난 바 있으며 당시 수입 기업은 삼성전자였다.
일본이 7월 초 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 3개월 만에 불화수소만 총 3건의 수출허가가 난 셈이다.또한 SK하이닉스는 아직 한건도 국내에 들어오지 못한 액체 불화수소(불산액)의 경우 "지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중"이라고 밝혔다.
지난달 초 LG디스플레이, 삼성전자 등이 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 데 이어 또 다른 국산화 행보다.
삼성디스플레이도 최근 국산 액체 불화수소 테스트를 완료했으며, 조만간 생산라인에 투입할 예정인 것으로 알려졌다.LG디스플레이는 이달 내 불산액 100% 국산화를 앞두고 있다.
앞서 산업통상자원부는 반도체용 액체 불화수소가 신청 후 90일이 다 되도록 단 한 건의 허가도 나지 않고 있는 상황이라고 전했다.
유 본부장은 일본의 수출허가 승인이 원활하게 이뤄지지 않는 이유에 대해 "자료 보완 요구가 많다"고 말했다.아울러 "정부는 얼마든지 일본과 협의할 용의가 있고 일본 측에도 요구했으나 일본이 응하지 않고 있다"면서 "(일본의 수출규제로 인한) 국내 기업의 애로는 소재부품 수급애로지원센터를 통해 지원하고 있다"고 말했다.