반도체 필수원료 '초순수' 국산화 착수

환경부, 수자원公 등과 손잡고

반도체 사업 필수원료인 ‘초순수’ 생산 기술 국산화가 본격적으로 추진된다.

환경부는 14일 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 ‘고순도 공업용수(초순수) 설계·시공·운영 통합 국산화 기술 개발’ 사업에 착수한다고 밝혔다.

초순수는 반도체 생산 공정 중에 나오는 부산물과 오염물 등을 씻어낼 때 쓰이는 필수 공업용수다. 초미세회로로 구성된 반도체를 세척하기 위해 총유기탄소량(TOC) 농도 10억분의 1(ppb) 이하 고순도를 유지해야 한다. 사업 계획에 따르면 수자원공사 등 공공기관과 관련 업계가 △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △초저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 △고순도 공업용수 공정 및 수질 성능 평가 △반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개 세부 과제별 기술 개발을 목표로 2025년까지 추진한다. 이 사업에는 한성크린텍과 에코셋, 네오텍 등 10개 기업이 참여한다. 총사업비는 정부 출연금 300억원과 민간부담금 180억원 등 480억원 규모다. 초순수 국산화는 2019년 일본의 수출 규제 대응 조치 중 하나로 추진돼 왔다.

수자원공사는 2025년까지 하루 2400t의 초순수를 생산하는 실증 플랜트를 반도체 공급 업체에 설치해 운영할 계획이다.

김소현 기자 alpha@hankyung.com