미국이 네덜란드에 세계적 반도체 제조장비 업체 ASML의 장비에 대한 중국 판매 추가 제한을 요구하고 있다고 블룸버그통신이 이 사안을 잘 아는 소식통의 말을 인용해 5일(현지시간) 보도했다.
블룸버그는 돈 그레이브스 미국 상무부 부장관이 5월 말부터 지난달 초까지 네덜란드를 방문했을 때 ASML이 만드는 구형 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 판매 금지를 요청했다고 밝혔다. 앞서 네덜란드 정부는 미국의 압박으로 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출 승인을 내주지 않고 있는데, 이런 조치를 구형 노광장비까지 확대해달라는 것이다.
그레이브스 부장관은 당시 네덜란드 펠트호번에 있는 ASML 본사를 방문해 페터르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)와도 만났다고 블룸버그는 덧붙였다.
미국은 일본에 대해서도 니콘 DUV 노광장비의 중국 판매 금지를 요청하고 있는 것으로 전해졌다. DUV 노광장비는 EUV 같은 최첨단 기술은 아니지만, 자동차나 스마트폰, PC, 로봇 등에 들어가는 반도체를 만드는 데 사용되는 보편적인 기술이다.
블룸버그는 미국의 요청을 네덜란드가 수용하면 중국 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 업체인 SMIC(中芯國際·중신궈지)나 화훙(華虹) 반도체 등 중국 반도체 업계는 물론 중국의 '반도체 굴기'도 상당한 타격을 받을 것이라고 설명했다.
민간 싱크탱크 대만경제연구원(TIER)의 존슨 왕 애널리스트는 노광장비는 중국이 가장 대체하기 힘든 장비여서 노광장비 해외 조달이 막히면 중국 반도체 산업의 성장도 멈춰 설 것이라고 전망했다. 다만 네덜란드 정부는 독일, 벨기에에 이은 3대 교역국인 중국과의 무역 관계 훼손에 대한 우려로 아직 미국의 요구를 받아들이지는 않은 상태라고 블룸버그는 전했다.
이에 대해 ASML의 대변인은 DUV 노광장비 중국 수출 금지 논의가 전혀 새로운 이야기가 아니라면서 어떤 결정도 내려지지 않은 상태에서 소문에 대해 논평하거나 추측을 하지는 않을 것이라고 말했다.
앞서 올해 초 베닝크 CEO는 DUV 노광장비가 이미 오랜 기간 사용된 기술이라며 중국 판매 금지에 반대한다는 입장을 밝힌 바 있다. 이날 뉴욕증시에서 ASML의 주가는 미국 정부의 움직임이 알려지면서 장중 한때 8.3%까지 급락한 끝에 전날 종가보다 3.87% 떨어진 432.40달러에 거래를 마쳤다.