SK하이닉스 수율 높인다…AI로 반도체 공정 전수검사

SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입했다. 그 결과 생산 운영 효율성을 개선하고 수율(전체 생산품에서 양품 비율)도 높아졌다.

SK하이닉스는 10일 “지난달부터 양산 팹(반도체 생산공장)에 가우스랩스가 만든 가상 계측 AI 솔루션 ‘판옵테스 VM’을 도입했다”고 발표했다. 가우스랩스는 SK하이닉스가 2020년 설립한 미국 실리콘밸리 소재 AI 소프트웨어(SW) 업체다.

판옵테스 VM이 가장 먼저 도입된 팹은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 박막 증착 공정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 미세한 박막에서 이를 계측하기 위해서는 많은 시간과 자원이 소요된다.

SK하이닉스는 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 고급공정제어(APC)와 연동했다. 그 결과 박막 증착 공정의 산포(제품 품질 변동 크기)는 평균 21.5% 개선됐고, 수율 역시 향상됐다. 이와 함께 가상 계측 모델로 100% 전수 검사와 같은 효과를 얻었다. 판옵테스 VM이 적용되는 공정은 더 늘어날 전망이다.

배성수 기자 baebae@hankyung.com