아이엠티, 삼성 · ASML과 EUV 노광 장비 최초 공동개발…국내유일 euv 파트너社

尹 대통령과 삼성·SK 회장이 네덜란드 ASML 본사를 방문해 ‘한-네덜란드 반도체 동맹’ 구축에 나선다는 소식에 삼성,ASML과 EUV 노광장비를 공동개발한 아이엠티가 조명받고 있다.

7일 尹 대통령은 네덜란드 국빈 방문의 핵심 현안으로 한·네덜란드 반도체 동맹 구축 및 전략적 동반자 관계 심화를 지목했다.

정부 관계자의 말에 따르면 “대통령이 네덜란드 혁신 현장을 방문함으로써 우리 정부로서는 반도체 초강대국 달성 전략의 일환으로 화성에 조성 중인 반도체 클러스터 조성과 관련해서도 우리에게 나름의 힌트와 통찰을 줄 것”이라고 기대했다.

또한 세계 유일의 극자외선(EUV) 노광장비 제조기업인 ASML과 삼성전자·SK하이닉스 등 반도체 제조기업의 역량을 결합해 반도체 가치사슬의 상호 보완성을 극대화하겠다는 구상이다.

ASML은 극자외선(EUV)을 이용해 반도체를 생산하는 노광장비 전 세계 시장 점유율 1위 기업으로, 반도체 초미세 공정에 필수인 노광장비를 세계 시장에 독점 공급하면서 업계에서는 이른바 ‘슈퍼을(乙)’로 불린다.

이와 같은 소식에 아이엠티가 주목받고 있다.

아이엠티는 지난 2000년 설립된 반도체 공정장비 기업이다. 세계최초로 레이저와 이산화탄소(CO2)를 활용한 건식세정 장비를 개발했으며 국내 유일의 극자외선 마스크 레이저 베이킹 장비 사업을 영위하고 있다.

특히 아이엠티는 2016년 삼성전자와 EUV Mask를 공동개발 했으며, 2009년 네덜란드 ASML과 차세대 노광 장비인 ‘EUV(Extreme Ultraviolet) 노광 장비’ 상용화를 위해 연구공동개발 협력계약을 체결한 사실이 있다.

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