세계최대 반도체 장비 기업인 네덜란드 ASML이 삼성전자과 협력을 강화한다. 윤석일 대통령 네덜란드 국빈방문 계기로 MOU가 체결되었다. 이번 MOU를 통해 국내 차세대 반도체 제조기술 R&D센터를 설립하고 차세대 EUV 기반으로 초미세 제조 공정을 공동개발 하게 될 전망이다. 대통령실 관계자는 ‘ASML이 반도체 제조기업과 해외에 최초로 설립하는 R&D센터로서 상징적 의미가 매우 크다’고 밝히며 정부가 전폭적으로 지원할 계획이라고 했다.
글로벌 파운드리 1위인 대만 TSMC의 아성을 무너뜨리려면 삼성전자로선 EUV 장비 확보가 최대 과정 중에 하나였다. 이번 협력을 통해 초미세 공정에 반드시 필요한 EUV장비 확보에 우위를 확보할 수 있을 것으로 전망된다.
국내 EUV 핵심종목으로는 에프에스티, 에스앤에스텍, 파크시스템즈, 동진쎄미켐, 디엔에프 등이 있다. 에프에스티: 극자외선(EUV)펠리클 장비 공급. 에스앤에스텍: 투과율 90%이상의 EUV 펠리클 개발완료 및 양산 파크시스템스: EUV 소재 부품개발 기업, EUV 노광 공정 관련제품 출시준비중 동진쎄미켐: EUV용 포토레지스트 국산화 성공 디엔에프: EUV용 전구체 개발업체