ASML, 반도체 노광장비 대중 수출 허가 취소

심자외선(DUV) 리소그래피 두 모델
ASML "재무 목표에는 영향 없어"

사진=REUTERS

네덜란드의 반도체 설비 제조업체인 ASML 홀딩은 1일(현지시간) 네덜란드 정부가 이 회사가 중국에 수출하려던 반도체 노광 장비에 대한 수출 허가를 취소했다고 밝혔다. 이 소식으로 2일(현지시간) 미국증시 개장전 거래에서 ASML 의 미국주식예탁증서 주가는2.3% 하락했다.

이 회사가 중국에 수출하려다 수출 허가가 취소된 장비는 심자외선(DUV) 장비인 NXT:2050i 및 NXT:2100i 등 두 종류의 리소그래피 시스템이다.

이와 관련, ASML은 성명을 통해 “현재 수출 허가 취소나 미국의 수출 통제 조치가 2023년 재무 전망에 중대한 영향을 미치지는 않을 것으로 예상한다”고 밝혔다. ASML은 전에 대중 수출 억제가 2025년과 2030년의 전체 재무 목표에는 영향을 미치지 않지만 지역별 판매 구성비에는 영향을 미칠 것이라고 밝혔다.

네덜란드에 본사를 둔 ASML은 반도체 생산에 필수적인 노광장비에서 지배적인 위치를 갖고 있다. 이 회사는 지난 9월부터는 보다 광범위한 첨단 반도체 제조 장비의 수출도 네덜란드 정부의 허가를 받아 왔다. 이는 미국이 중국이 첨단 반도체 기술에 접근하는 것을 제한하기 위한 노력의 일환으로 미국과 네덜란드, 일본이 합의한 이후부터 시행되고 있다.

이미 이 회사의 극자외선(EUV) 리소그래피 같은 최첨단 기술에 대한 대중 수출은 2019년부터 금지돼왔다.

그러나 지난 여름 중국의 SMIC가 EUV보다 이전 기술인 심자외선(DUV) 기술을 이용해 화웨이의 최신 스마트폰용 고급 반도체를 생산한 것으로 드러났다. 지난해 9월부터는 DUV 기술 수출도 통제받고 있다.

김정아 객원기자 kja@hankyung.com