[특징주] 엘오티베큠, 삼성, 반도체 전 공정에 '플라즈마' 활용...시스템 공급 이력 부각

엘오티베큠이 오름세다. 삼성전자가 플라즈마 기술을 반도체 공정에 확대 적용한다는 소식에 영향을 받은 것으로 보인다. 플라즈마 관련 사업을 영위 하고 관련 특허를 여럿 보유 중인 엘오티베큠은 삼성전자에 반도체 공정용 플라즈마 전처리시스템을 공급한 바 있다.

13일 오전 9시 44분 기준 엘오티베큠은 전일 대비 1.82% 상승한 11,200원에 거래 중이다.

삼성전자가 플라즈마 기술을 반도체 공정에 확대 적용한다. 기존 화학 소재만을 활용하던 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정에 플라즈마를 활용하는 방안을 통해서다.

13일 반도체 업계에 따르면 배근희 삼성전자 마스터는 전일 수원 컨벤션센터에서 열린 '차세대 리소그래피 + 패터닝' 학술대회를 통해 이같이 밝혔다.

플라즈마의 주요 적용처는 식각 공정이다. 식각은 웨이퍼 상에 도포된 물질 중 필요없는 부분을 제거하는 기술이다. 이후 플라즈마는 증착, 확산, 메탈, 포토 공정 등에도 적용돼 왔다.

한편 엘오티베큠은 삼성전자에 반도체 공정용 플라즈마 시스템을 꾸준히 공급해 온 바 있다. 또한 엘오티베큠은 최근까지 플라즈마 관련 특허를 과거부터 꾸준히 취득 현재 다의 특허를 보유 중이다.

김광수 한경닷컴 객원기자 open@hankyung.com