세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 개발

반도체 장비기업 세메스가 반도체 포토공정용 트랙장비인 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 개발해 품질테스트를 통과했다고 7일 밝혔다.

스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다.

이 장비는 현재 일본의 T사가 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있으며, 국내업체로는 세메스가 유일하다.

이번에 개발된 차세대 설비는 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응이 가능할 뿐만 아니라 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선해 생산성을 향상시켰다.

KrF 스피너 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서, 자동 보정 및 자동화 시스템을 적용해 수율 및 성능 향상에 기여할 것으로 전망된다.

장세연 세메스 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “고부가가치 중심의 차별화된 설비를 선보여 기술리더십을 주도하겠다”고 밝혔다.

국내 장비업계 최초로 매출 3조원을 돌파한 세메스는 반도체 3대 핵심공정 가운데 하나인 포토공정 스피너 장비를 개발해 IR52 장영실상을 3회 수상한 바 있다.

국내외 1000여건의 포토장비 특허를 보유하고 있다.

박의명 기자 uimyung@hankyung.com